国常识产权局信息裸露鹤壁塑料挤出机设备厂家，上海集成电路研发中心有限公司恳求项名为“化学气相千里积机台”的利，公开号CN122169059A，恳求日历为2024年12月。

利摘记裸露，本发明触及集成电路制造本畛域，尤其触及种化学气相千里积机台，包括响应腔以及诞生在所述响应内的喷淋头及晶圆基座鹤壁塑料挤出机设备厂家，所述晶圆基座包括用于承载晶圆的承载部，所述承载部与所述喷淋头相对诞生，且所述承载部大略相对所述喷淋头动掸以膺惩所述晶圆与所述喷淋头的喷淋向之间的夹角。通过驱使所述承载部相对所述喷淋头动掸，进而带动所述晶圆相对所述喷淋头动掸，进而膺惩所述晶圆与所述喷淋头的喷淋向之间的夹角，使得在片晶圆上大略同期获得多个厚度不同的膜层测试点位，通过对该多个膜层测试点位进行跳动测试即可细则佳膜层厚度，从而大大提了新址品膜层工艺的开导速率，同期还减少了开导使用的晶圆数目，简略了开导成本。

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