快科技6月8日音书，针对外界称台积电因保守不肯投资下代光刻确立的传言文昌隔热条PA66生产设备，台积电董事长魏哲近日在鞭策大会上切身辟谣，暗意有买High-NAEUV光刻机，且正勤勉研发，但基于本钱考量，现阶段暂不插足量产。
这台ASML研发的新High-NAEUV光刻机，每台单价达3.8亿至4亿好意思元文昌隔热条PA66生产设备，是刻下主流EUV确立的两倍多。魏哲坦言，确立太贵是暂不量产的主因。
台积电的计谋是先用好手里现存的EUV确立。魏哲强调文昌隔热条PA66生产设备，现存光刻机搭配多重图案化技能，仍足以支握制程的微缩需求，台积电有底气等High-NAEUV的经济账算得合算时再出手。
台积电早在2024年9月就领受了台High-NAEUV光刻机，并安置在研发中心用于开辟下代工艺的基础光刻技能。魏哲以为文昌隔热条PA66生产设备，隔热条PA66提前启动研发准备，技艺确保以前投产时达到可靠良率与产出率。
不外他坦言，要把这台4亿好意思元真的立真的用起来，还需再等等。英特尔等竞争者早已将High-NAEUV提上量产日程，而台积电选拔先研发、后投产恰当的门道，符其贯的本钱规律。
魏哲瞻望，High-NAEUV将在真的需要单次曝光齐全细微线宽且晶圆本钱开动具备竞争力的时分点，当然进入坐褥体系。
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